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分子泵：涡轮分子泵是靠高速转子携代气体分子获得超高真空的一种机械式真空泵，工作压力范围为-～-8pa，它具有抽速较大，抽速范围很宽的特点，分子泵适用于要求清洁的高真空和超高真空的设备上使用，但它不能直接对大气排气，需要配置前级泵、由于分子泵属于分子动能泵在大气压下启动分子泵、分子密度过大、泵工作要发热损坏。空检漏真空检漏是真空获得保证，它是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气是影响真空获得和真空维持的主要因素之一。